Departamento de Electrónica Industrial

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Microtecnologias no Silício

Enquadramento e objectivos da disciplina

A UC de Microtecnologias no Silício é uma disciplina  do 4º ano do MEBIOM e 3º ano do LEFisica.
  Tem uma escolaridade de 4 horas semanais (2 teóricas e  2 teórico-práticas).

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Docentes:

• AulasTeóricas : José Higino Correia
• Aulas Teórico-Práticas: José Higino Correia

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Livro adoptado na Unidade Curricular: Introdução às microtecnologias no silício, J. H. Correia, J.P.Carmo, Editora LIDEL, Setembro 2010.

Resolução dos exercícios do livro adoptado na Unidade Curricular

ERRATA

Download:

Folha de apresentação da disciplina (FADA)

Aulas Cap1

Aulas Cap2

Aulas Cap3

Aulas Cap7

Texto apoio

Ficha de exercícios

Texto Silicon_Wafer_Processing

Texto wet-etching

Texto Tecnologia LIGA

Livro Microelectronics-Fabrication 25 Mbytes

Lmanual

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